Teollisuustilastoa alettiin julkaista vuodesta 1884 lähtien. Ne sisältävät toimialoittaisia tietoja toimipaikkojen lukumäärästä koko maassa, lääneissä ja kunnissa. Toimialoittain julkaistaan tietoja toimihenkilöiden ja työntekijäin määrästä ja heille maksetuista palkoista, teollisuustuotannon sekä tuotteiden määrästä ja arvosta, käytetyistä raaka-aineista ja tehtaissa käytössä olleista voimakoneista.

• 1884- 1886 Teollisuustilastoa: Vuoriviljelys, geologinen tutkimus ja malmien etsintä, rahapaja ja kontrollilaitos, konepajat ja valimot (3)
• 1887- 1908 Teollisuustilastoa: Vuoritoimi ja koneteollisuus, rahapaja ja kontrollilaitos (22)
• 1884- 1908 Teollisuustilastoa: Tehtaita ja käsityölaitoksia (26)
• 1909- 1953 Teollisuustilastoa (44)
• 1954- 1963 Teollisuustilasto (10)

Digitoimattomia varhaisempia tietoja teollisesta toiminnasta on julkaistu ”Manufaktur-direktionens i Finland till Hans Kejserliga Majestät afgifna underdåninga årsberättelse (suom. Tehtaastojohtokunnan tilastollisissa selosteissa) vuosilta 1842-1876 sekä kaivosteollisuuden osalta ”Bergsintendentens underdåniga berättelse om bergshandteringen i Finland” (suom. Vuori-indententin tilastollisissa vuosikertomuksissa) vuosilta 1872-1883.